圧力センサ
小型圧力センサとして近年普及しているものとして、半導体ピエゾ抵抗式と静電容量式の2つがあります。
当社の圧力センサ用センスアンプは静電容量式圧力センサの容量変化を高周波電荷転送方式により電圧に変換します。
数fF(フェムトファラッド=ピコファラッドの1/1000=10-15)の極微少な容量変化を検出することができます。
また、60~70dBのダイナミックレンジをもち、容量変化対出力電圧の直線性も高い優れたセンスアンプです。
さらに、当社は一般的なシリアルEEPROMを併用して、センサを含むセンシングシステム全体の感度、オフセット、 温度変化等の誤差を補正する技術を持っており、高性能なセンサを安価に実現可能です。